"Wafer treatment type";As-cut;As-ground;"As-ground + polished";"R a, mm";"R z, mm";"R a, mm";"R z, mm";"R a, mm";"R z, mm" InSb 0.6;3;0.4;2.6;0.04;0.17 0.7;3.2;0.4;2.3;0.03;0.13 0.6;3.1;0.4;2.4;0.03;0.12 0.6;3;–;–;0.04;0.15 0.6;3.5;–;–;0.05;0.18 GaAs 0.3;2.4;0.4;1.8;0.16;0.8 0.4;2.3;0.4;1.8;0.14;0.7 0.4;2.4;0.4;1.9;0.19;0.8 0.5;2.4;0.4;1.7;0.19;0.9